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產品簡介
詳細介紹
主動消振臺/防震臺/消震臺AVI系列
六軸方向自由度防振臺，高負載主動防振臺。系統內部反饋回路抑制所有機械共振，低頻隔振性能穩定 ，無低頻共振、無空氣要求!自動調節負載 ，即插即用 ，LCD顯示屏實時顯示振動情況，多種面板定制選擇，AVI-400XL主動防振臺主要應用體積大中心高精密光學設備，光刻機防振臺，半導體檢測防震臺等。。AVI系列主動消振臺/防震臺/消震臺
產品亮點：
六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)
5-20ms響應時間
低頻隔振性能優異,安裝和使用簡單
系統主動檢測輸入振動并動態消除
緊湊、模塊化的多功能設計
穩定性高，能*連續使用多年
無低頻共振、無空氣要求
應用范圍：
超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
光刻工具
高精度計量工具
光譜儀器
升級選項：
可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
技術參數：
型號：AVI-400S/LP
系統配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置
主動隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz
被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
LEDs 指示輸出階段的過載情況。
單元尺寸(每個):190 x 396 x 112.5 Hmm
控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
隔振單元重量: 15kg
負載能力:800 kg (同等/低重心)
輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
功耗：通常18W
溫度范圍：5℃ - 40℃
相對濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)
室內/室外使用：僅用于室內
隔振效果：
性能對比圖：SEM的研究人員在兩種*條件下進行成像： 不含隔振系統和包含AVI-400系列隔振臺。當使用AVI系列隔振臺搭載SEM時，所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。
