固體質量流量的計量
1904年，美國Bousser制作出早的固體質量流量的計量，該裝置的原理以動量為主。1929年，下落固體顆粒的質量流量計研制出來，并成為理論與實踐相互結合的初級產品。1957年，通過動量原理進行固體顆粒測量的方法被提出來。1963年，日本三協電業公司借助于垂直力進行固體的流量裝置的檢測，并在1968年將該裝置改進為應用水平分力來檢測，進而發展成為沖量式流量計。目前，國內外出現了不少測量固體質量流量的沖量式流量計，這些產品的原理近乎一致，比如國產的LFD系列等。
氣體質量流量計
1911年，美國學者提出了采用熱絲法來對氣體質量進行測量的流量計。1914年，L.V.King通過電阻變化來替換氣體冷卻率，進而實現了測量。如今，不少熱流式質量流量計就應用到該種方法。1964年，美國Dijeck借助于馬格努斯效應，從而完成了差壓質量流量計的研制，并進行了氣體質量流量的測量。目前，在氣體質量流量計的應用上，熱流式相對多，比如國產86—系列，美國58—系列等。
液體質量流量計
在質量流量計中，測量液體的裝置種類相對多。無論是動量式質量流量計，還是差壓質量流量計和熱流式質量流量計，都能夠對液體進行測量。1962年，雙渦輪式液體、氣體質量流量計出現。1973年，美國研制出了能夠對非線性渦輪質量流量計進行校正液體測量裝置。目前，美國Rosemount公司在70年代制造出的科里奧利質量流量計應用相對較多。在此基礎上，各國也生產出了類似于科里奧利流量計的產品。
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