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型 號

F□L

F□H

Model

過濾精度

5-10μ，10-20μ，20-30μ

Filtration Hole

耐壓

1MPa

10MPa

Max Pressure

氣體流通量

＞30SLM (0.05MPa)

＞65SLM (0.05MPa)

Gas flow

漏率

1×10^-8sccsHe

Leak Integrity

密封材料

氟橡膠Viton；氯丁橡膠Neoprene

Materials

標準接頭形式

mpression Fittingφ3；mpression Fittingφ6；mpression Fitting1/4

Fittings

重量

0.13Kg

0.18Kg

Weight