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MKS傳感器技術參數
閱讀：673 發布時間：2021-8-2MKS傳感器，通用型絕對Baratron,電容式壓力計
722B 1-25,000 Torr，通用型絕對Baratron,電容式壓力計是一款緊湊，低成本的壓力計，可實現精確，可重復和可靠的測量。堅固的傳感器結構允許高過壓公差，減少線路壓力峰值引起的誤差。722B靈活，節省空間的設計使其成為改造應用和新設備設計的理想解決方案。
占地面積小，可減小系統尺
過壓限制可確保零重復性或性能不會降低
全金屬全焊接結構，僅暴露Inconel,和不銹鋼，具有高耐腐蝕性
幾個早期Baratron,壓力計的“Drop-in"替代品
Baratron,電容壓力計技術
電容式壓力計是可以測量壓力和真空的電子機械壓力表。電容計將薄膜中的壓力調制運動轉換為與壓力成比例的電信號。壓力傳感器是薄膜，其暴露于通過入口管測量的壓力或真空。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過程和參考腔之間的壓力差使膜片稍微偏轉，改變了它與電極之間的距離。該距離的變化產生隔膜和電極之間的電容變化，產生與壓力變化成比例的電信號。
MKS流量計，多氣體，多范圍質量流量控制器
多氣體，多范圍，彈性體密封，50 - 50,000 sccm質量流量控制器
G系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485，Profibus，EtherCAT或DeviceNetI / O. 數字控制電子設備利用新的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點進行快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。數字校準在校準氣體上產生1％的設定點精度。
流速從5到50,000 sccm
Viton，Buna，氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項
建立時間小于750毫秒
標準封閉電導泄漏率小于滿量程的0.1％