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產(chǎn)品分類品牌分類

表面分析測量: 掃描探針顯微鏡系統(tǒng) 納米壓痕試驗(yàn)機(jī) 3D光學(xué)輪廓儀通用組合水平式檢測干涉儀多普勒激光測振儀平面平晶檢測干涉儀高精度納米力學(xué)測試系統(tǒng) 摩擦磨損試驗(yàn)機(jī) 超高速原子力顯微鏡球面鏡輪廓儀透射電鏡測試系統(tǒng) 掃描電鏡/FIB原位納米壓痕儀臺(tái)階儀,表面輪廓儀納米壓痕儀/硬度/楊氏/彈性模量系統(tǒng) 激光干涉儀

3D顯微鏡: 生物型原子力顯微鏡

制樣: 熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) 涂布勻膠

耗材: 晶體真空材料、耗材

行業(yè)專用儀器: 激光功率衰減器 X射線衍射儀紅外光譜測振儀無線通信測試儀和系統(tǒng) 網(wǎng)絡(luò)分析儀原子吸收紫外-可見-近紅外分光光度計(jì) 納米壓印儀四探針電阻率/方塊電阻測試儀

3D打印機(jī): 生物3D打印機(jī)做樣

掃描電鏡: 鎢燈絲掃描電鏡場發(fā)射掃描電鏡

顯微鏡: 聚焦離子束顯微鏡

生命科學(xué)儀器: 組織細(xì)胞定量分析系統(tǒng) 水浴和搖床設(shè)備

氣體循環(huán)處理

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產(chǎn)品簡介詳細(xì)介紹

儀器名稱：Dimension3100原子力顯微鏡
型號(hào)：Dimension 3100
生產(chǎn)廠家：Veeco
主要配置：
– Dimension 3100 掃描頭和Nanoscope IIId控制器
– 樣品尺寸可達(dá)到8英寸晶圓，測量區(qū)域可達(dá)到6英寸范圍。
– 全面的表面局域電學(xué)測量模塊(SCM/CAFM/SSRM，與Multimode共用)

Veeco D3100 Dimension Head ( AFM Scanner )

Veeco D3100 掃描頭 ( AFM Scanner )

掃描范圍：90um*90um

Dimension 3100 SPM使用自動(dòng)化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù)，可用來測量直徑可達(dá)200毫米的半導(dǎo)體硅片、刻蝕掩膜、磁介質(zhì)、CD/DVD、生物材料、光學(xué)材料和其它樣品的表面特性。它的激光點(diǎn)定位系統(tǒng)和無需工具改變掃描技術(shù)的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力。

儀器名稱：

Dimension3100原子力顯微鏡

型號(hào)：

Dimension 3100

生產(chǎn)廠家：

Veeco

主要配置：

– Dimension 3100 掃描頭和Nanoscope IIId控制器
– 樣品尺寸可達(dá)到8英寸晶圓，測量區(qū)域可達(dá)到6英寸范圍。
– 全面的表面局域電學(xué)測量模塊(SCM/CAFM/SSRM，與Multimode共用)

性能指標(biāo)：

同主要用途

主要用途：

– 表面形貌、成分分辨
• 具備接觸、輕敲等多種模式成形貌像，XY分辨率0.25nm，Z噪聲<0.05nm
• 摩擦力圖像、定量相位圖像
– 表面局域電場力、磁場力和表面電勢：
• 電場力、磁場力圖像
• 表面電勢可分辨表面兩點(diǎn)電勢差絕對值，分辨率10mV
– 載流子濃度、氧化層缺陷、局域?qū)щ娦?br/> • 掃描電容模塊(SCM)可測量dc/dV曲線，表征表面局域載流子濃度、氧化層缺陷等
• 導(dǎo)電原子力(CAFM) 可測量I/V曲線，表征表面局域?qū)щ娦浴Ｆ珘悍秶?mV-12V，電流范圍10nA-1uA
• 掃描擴(kuò)展電阻(SSRM)可測量表面電阻分布，表征局域?qū)щ娦院洼d流子濃度等。偏壓范圍1mV-12V，電流范圍10pA-1mA
– 納米加工
• 可編程控制針尖動(dòng)作和測量過程，對表面進(jìn)行納米操縱、刻蝕等

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