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寶德8741型氣體流量控制器

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  • 型號 311140
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  • 廠商性質 工程商
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更新時間:2025-06-12 17:57:07瀏覽次數:1093

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產品簡介

寶德8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量(用作 MFM)或者調節(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外,測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準,使其用于測量/調節兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

詳細介紹

寶德8741型氣體流量控制器必要時可以設置為MFC或者MFM,且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以CAN物理層為基礎,Bürkert特別為涉及多個控制回路(通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動)的應用而對其進行了研發。型號為ME2X的系統控制單元(SCU, System Control Unit)將客戶的以太網通信傳輸到所有者的büS中,并驅動所有相連的電子設備。設備之間的通信可以在büS和CANopen之間切換。借此8741型也可以集成到現有的CANopen基礎設施中。寶德8741型氣體流量控制器借助MEMS傳感器進行氣體質量流量的測量(用作 MFM)或者調節(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外,測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準,使其用于測量/調節兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

主要特點:
采用 MEMS 技術直接測量流量
測量和重復精度高
反應時間非常之短
現場總線通信基于 CANopen

技術數據:
額定流量范圍:10 mlN / min至160 lN / min(N2)
調低比例:50:1,可選100:1
工作介質:中性,無污染氣體,其他要求
校準介質:使用氣體或空氣
介質溫度:-10°C至+70°C(-10°C至+60°C,含氧氣)
環境溫度:-10至+50°C(根據要求可提供更高的溫度)
測量精度:±0.8%o.R. ±0.3%F.S.(1分鐘預熱時間后)
重復性:±0.1%F.S.
沉降(MFC)/響應(MFM)時間:<300 ms

關于配置的注意事項:
為了正確選擇MFC內的執行器孔口,不僅需要獲得大流量,而且還應該知道在此流量下的MFC(p1,p2)之前和之后的壓力值。通常,這些壓力是與整個設備的整體入口和出口壓力不一樣,因為通常在控制器前后存在額外的流量電阻器(管道,附加截止閥,噴嘴等)。13表示直接在MFC之前和之后的壓力。如果這些測量值應該是未知的或者不能被測量到,則需要考慮MFC前后流量電阻器上的近似壓降,以大的流量分別計算。此外,引用大進口壓力這個數據是需要的,以確保執行器能夠在所有的操作模式下提供緊密的功能。

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