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日本標準在線式薄膜測厚儀的檢測方法及標準
2022-3-25 閱讀(1222)
日本標準在線式薄膜測厚儀的檢測方法及標準
隨著科技的進步和精密儀器的應用，薄膜厚度的測量方法有很多，按照測量的方式分可以分為兩類：直接測量和間接測量。直接測量指應用測量儀器，通過接觸（或光接觸）直接感應出薄膜的厚度，常見的直接法測量有：螺旋測微法、精密輪廓掃描法（臺階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測量指根據一定對應的物理關系，將相關的物理量經過計算轉化為薄膜的厚度，從而達到測量薄膜厚度的目的。常見的間接法測量有：稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。按照測量的原理可分為三類：稱量法、電學法、光學法。常見的稱量法有：天平法、石英法、原子數測定法；常見的電學法有：電阻法、電容法、渦流法；常見的光學方法有：等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。
薄膜測試儀連續測厚機FT-A200 / FT-A200R
配備高精度測量頭和放大器單元的機器。
只需設置從生產線切出的薄膜，即可輕松連續測量厚度。
FT-A200 測量范圍 / 10 μm 至 200 μm
FT-A200R 測量范圍 / 3 μm 至 100 μm
測量分辨率/ 0.01 μm
