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無機質譜儀是質譜儀中的一大分類，與有機質譜儀不同的是主要以電感耦合高頻放電(ICP)使被測物質離子化的質譜儀，主要用于無機元素微量分析和同位素分析等方面，應用廣泛。無機質譜儀是較精密的儀器，需要平時經常維護保養，減少故障。
 

　　1.定期進行機械泵振氣，ESI源每周一次，APCI源每天一次。
 

　　2.每周檢查一次機械泵狀況。
 

　　3.定期更換機械泵油，一般情況下，連續工作125天更換一次。當泵油明顯變色或液面下降1/2以下時需要立即更換。
 

　　4.當出現堵塞、靈敏度下降時，需要清洗探頭尖，更換毛細管。
 

　　5.當電暈放電針(APCI)看上去已腐蝕、變黑或靈敏度下降時需要及時清潔
 

　　6.當采樣錐孔和擋板明顯變臟、變黑或靈敏度下降時及時清洗，若清洗完采樣錐孔后靈敏度仍低時則需要清洗萃取錐孔、離子座和六極器。