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產品簡介
詳細介紹
掃描電子顯微鏡特點
FlexSEM 1000 II，憑借全新設計的電子光學系統和高靈敏度檢測器，可在加速電壓20 kV下實現4.0 nm的分辨率。全新開發的用戶界面，具有亮度和對焦自動調節功能，可以在短時間內進行各種觀察。此外，還搭載了全新的導航功能“SEM MAP"，這個功能可彌補電子顯微鏡上難以找準視野的缺點，實現最直觀的視野移動。
盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型*1電子顯微鏡，仍可實現4.0 nm的分辨率
憑借的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測器、低真空檢測器（UVD*2），可在低加速/低真空下觀察時實現最高的畫質
全新的用戶界面，無論用戶的熟練程度如何，都可實現高畫質和高處理能力
全新的定位功能“SEM MAP"，支持觀察時的視野搜索和樣品定位
*1設置到桌面上時，請將機體與電源盒分離
*2選項
掃描電子顯微鏡小型高性能色譜柱
尺寸雖小，卻具備同類產品中最高的分辨率。
加速電壓：20 kV
倍率：60,000倍
信號：SE
分辨率：4 nm
加速電壓：20 kV
倍率：50,000倍
信號：BSE
分辨率：5 nm
高畫質
配備可優化放射電流的功能，以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度，而獲得噪點小且清晰的圖像。
加速電壓：5 kV
倍率：30,000倍
信號：SE、無金屬涂層
加速電壓：3 kV
倍率：10,000倍
信號：BSE、無金屬涂層
可用高畫質和快速觀察
搭載GUI和自動調節功能，讓初學者也能得心應手。只要按一下自動對焦（AFC）、自動亮度調節（ABCC）按鈕，就可以獲得最佳的圖像。（自動調節：與以往相比，縮短時間約13秒*3）當然，也可以通過觸屏進行操作。
*3對比日立SEM SU1510
全新定位系統“SEM MAP"
“SEM MAP"功能可有效實現觀察時的視野搜索和樣品定位。根據內置攝像頭所拍攝的圖像，定位樣品，一鍵點擊即可移動到觀察部位。
在SEM MAP上導入的圖像會自動進行粘貼，并以分布圖的形式顯示。
可放置在桌面上的緊湊型電子顯微鏡
寬幅僅為45厘米，緊湊型設計，減小占用空間。機體僅支持AC100 V 3P電源插座。此外，機體和電源盒可以分離，從而大幅度提升諸如桌面設置等的布局靈活性。
規格
| 項目 | 內容 |
|---|---|
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式） |
| 加速電壓 | 0.3 kV～20 kV |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率） |
| 低真空設置 | 6～100 Pa |
| 電子槍 | 預對中鎢燈絲電子槍 |
| 樣品臺 | 3軸馬達驅動樣品臺 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 最大可觀察范圍：直徑64mm（R聯用）*4 |
| 最大樣品尺寸 | 直徑80 mm（選配：直徑153mm） |
| 最大樣品高度 | 40 mm |
| 尺寸 | 機體：450（寬度）×640（進深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進深）×450（高度） mm |
| 選項 |
|
| 軟件 | Multi Zigzag（連續視野圖像導入功能） |
*PC、桌子、監控器由客戶準備
*3機體和電源盒連接時候
*4使用標準支架時
半導體
焊線
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信號：BSE、無金屬涂層
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信號：BSE、無金屬涂層
材料
二硫化鎢
FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統，可在低加速電壓下獲得高放射電流。從而，在低加速電壓下也能實現同類產品中最高的圖像清晰度（S/N）。
倍率：10,000倍
信號：SE、無金屬涂層
倍率：10,000倍
信號：SE、無金屬涂層
水泥
倍率：15,000倍
信號：SE、無金屬涂層
黃銅礦
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信號：BSE、無金屬涂層
生物
蝴蝶翅膀斷面
倍率：40,000倍
信號：SE、有金屬涂層
花粉
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信號：UVD、無金屬涂層
視頻
寬度僅為45厘米的緊湊型電子顯微鏡，仍具備4.0 nm的圖像分辨率！
全新開發的用戶界面和電子光學系統讓您深切體驗其高性能
三維測量軟件
Hitachi map 3D（選項）
利用SEM上4分割背散射電子檢測器所獲得的信號，可計算4個方向的表面形狀，從而無需進行樣品傾斜和視野對位，即可構建三維模型。
Hitachi map 3D支持多個國家的語言，具備用于調節樣品位置的各種校正功能、以及可追溯測量過程的測量系統、符合ISO標準的表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）的測定、此外還包括表面積、體積等其他測量功能以及報告輸出等功能。