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電感耦合等離子體質譜ICP-MS技術是80年代發展起來的新的分析測試技術。它以將ICP的高溫（8000K）電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種新型的強有力的元素分析、同位素分析和形態分析技術。
 
該技術提供了極低的檢出限、極寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、分析精密度高、分析速度快以及可提供同位素信息等分析特性。廣泛應用于環境保護、半導體、生物、醫學、冶金、石油、核材料分析等領域。
 
電感耦合等離子體質譜工作原理:
在ICP-MS中，ICP作為質譜的高溫離子源（7000K），樣品在通道中進行蒸發、解離、原子化、電離等過程。離子通過樣 品錐接口和離子傳輸系統進入高真空的MS部分，MS部分為四極快速掃描質譜儀，通過高速順序掃描分離 測定所有離子，掃描元素質量數范圍從6到260，并通過高速雙通道分離后的離子進行檢測，濃度線性動態 范圍達9個數量級從ppq到1000ppm直接測定。因此，與傳統無機分析技術相比，ICP-MS技術提供了低 的檢出限、寬的動態線性范圍、干擾少、分析精 密度高、分析速度快、可進行多元素同時測定以及可提供同位素信息等分析特性。
 
Agilent 7900 ICP-MS的穩定等離子體和可選的超耐高鹽進樣系統 (UHMI) 可幫助您對高達 25% 總溶解固體 (TDS) 含量的樣品進行常規測量，其高鹽基質耐受能力比傳統 ICP-MS *高 100 倍，遠遠超出了其他ICP-MS。