利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計。
作原理
熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電后會發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導(dǎo),或細線本身的固體熱傳導(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的點是此真空計的原理。
如果保持細線的發(fā)熱量即保持定的電,則周圍壓力的時候氣體奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會升。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內(nèi)的壓力。
作原理
熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電后會發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導(dǎo),或細線本身的固體熱傳導(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的點是此真空計的原理。
如果保持細線的發(fā)熱量即保持定的電,則周圍壓力的時候氣體奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會升。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內(nèi)的壓力。
熱偶真空計的校準
熱偶真空計在使用前也需要行校準，熱偶規(guī)管在未開封前真空度已抽至為10^-2~10^-3Pa。將熱偶規(guī)管與儀器連接，使管座垂直向上，接通儀器電源開關(guān)，預(yù)熱10min,"熱偶轉(zhuǎn)換"開關(guān)置"加熱電"位置，調(diào)節(jié)"加熱電"旋鈕，使加熱電達到規(guī)定值(加熱電標注在每支熱電偶真規(guī)管的管座上或使用說明書中)，熱偶真空計針滿度，持續(xù)1min，再將"熱偶選擇"開關(guān)放在"測量"位置上，這樣反復(fù)測定三次，成熱偶真空計的校準作。
在熱偶規(guī)管內(nèi)
氣體導(dǎo)熱是氣體與熱絲碰撞的結(jié)果且與熱絲表面狀況有關(guān)。因此，應(yīng)保持管內(nèi)及熱絲表面狀清潔，般不要在大氣壓狀態(tài)下對熱絲加熱，盡量減少油蒸氣污染。
熱偶規(guī)管對電磁場敏感，測量時應(yīng)避免外界電磁場干擾，如測量中不要使頻火花移近熱偶規(guī)管。
