標準型精密勻膠機 是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。 

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品的大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和高的可重復性。 

主要性能指標：  
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）   
旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒   
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）   
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）   
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm   
轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm   
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec   
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）   
旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）  
標準型精密勻膠機

產品特性優點：  
 內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。   
7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。   
on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。   
標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。  
采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。   
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。   
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。   
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。  


產品外型尺寸：  
　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構  
　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構 

產品名稱：分體式勻膠機 產品型號：SC100-SR

分體式勻膠機 型號：SC100-SR
　　SC100-SR精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。 
　　SC100-SR是一種主機和觸摸屏分開的分體式勻膠機，主機被設計為更小安裝尺寸或臺面嵌入式安裝來降低操作高度。SC100-SR可與手套箱配套進行嵌入式安裝，控制盒放置在臺面上方便移動。 

主要性能指標： 
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒  
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）  
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）  
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm  
轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm  
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）  
旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量） 
產品特性優點： 
內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。  
可進行嵌入式安裝，降低操作高度。  

7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。  
on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。  
標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。  
采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。  
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。  
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。  
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。

產品名稱：短波紫外輻照計 紫外照度計 產品型號：UVC254

短波紫外輻照計 紫外照度計型號：UVC254 
窄帶光譜248nm～262nm，254nm峰值波長 
大規模集成電路保證高精度和高穩定性 
由隔可見光窗口片，窄帶濾光片和砷化鎵傳感器組成的UV探頭。 
鋁合金探頭外殼帶有固定螺孔，方便將探頭安裝在合適的位置進行測量。 
測量量程寬，1uW/cm2 ～39.99mW/cm2 

范圍 
本儀表于殺菌，光刻，水處理，醫療，育種等領域的紫外輻照度測量工作。 
技術指標 
波長范圍： 248nm～262nm 
峰值波長： 254nm 
輻照度測量量程：3999uW/cm2 ，39.99mW/cm2 
分辨率： 1uW/cm2 
紫外帶外區雜光：＜0.1% 
準確率：±5%+2個字 
取樣率： 2.5次/秒 
使用環境：溫度(0～40)℃； 
           濕度＜80%RH 
過載顯示：“OL” 
重量： 350克（含電池，探頭） 
電源： DC 9V （6F22型）電池 
工作電流：約2.7mA 
尺寸：機體 160x78x43mm 
       傳感器φ40x35mm