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賽默飛X光電子能譜儀是一種怎樣的分析技術?

閱讀:216      發布時間:2023-3-14
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   賽默飛X光電子能譜儀利用X射線激發樣品表面元素的內層能級電子信號,再用電子能譜儀檢測光電子的動能及強度,進而確定元素的種類及價態等信息。主要用于研究材料極表面的元素及元素不同價態組成。
 
  賽默飛X光電子能譜儀是電子材料與元器件顯微分析中的一種先進分析技術,而且是常常配合使用的分析技術。
 
  由于它可以更準確地測量原子的內層電子束縛能及其化學位移,所以它不但為化學研究提供分子結構和原子價態方面的信息,還能為電子材料研究提供各種化合物的元素組成和含量、化學狀態、分子結構、化學鍵方面的信息。
 
  它在分析電子材料時,不但可提供總體方面的化學信息,還能給出表面、微小區域和深度分布方面的信息。另外,因為入射到樣品表面的X射線束是一種光子束,所以對樣品的破壞性非常小。
 
  賽默飛X光電子能譜儀的應用范圍:
  光電子能譜是研究材料表面和界面電子及原子結構的重要手段之一,可提供物質表面幾個原子層的元素定性、定量信息和化學狀態信息;可對非均相覆蓋層(如薄膜)進行深度分布分析,了解元素隨深度分布的情況;可對元素及其化學態進行成像,給出不同化學態的不同元素在表面的分布圖像;還可利用UPS(紫外光電子能譜)研究固體樣品的價電子和能帶結構及功函數。廣泛應用于固體物理學、基礎化學、催化科學、腐蝕科學、材料科學、微電子技術及薄膜研究。

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