1.氣體的濃差問題
在我們的周圍環境中,充滿了高氧和水蒸氣.大氣中的氧是21% ,水蒸氣大約是在1-2%左右,它們是以氣態形式混雜在大氣中。我們知道,在混合氣體中，每個氣體都有它一定的分壓。系統中被測的氧和水是極低的.通常只有幾個PPb幾個PPm-幾十PPn.這樣它們就與系統外的氧和水之間存在著- -- 個很大的濃度差(或分壓差),盡管系統內的載氣壓力很高,但是由于氧和水蒸氣的濃度差還是系統外高于系統內,如果系統和管道中的密封性能不好,哪怕一點點的微漏，由于氣體濃差的存在.就會有一個慢滲漏的問題,必須引起注意。
2.系統有吸附問題
任何物質對不同的材料都有一種吸附現象氧分子和水分子的吸附能力就更強.這種吸附與容器表面積和光潔度有關,表面積越小，光潔度越高吸附就越小,反之就越大。對一個凈化的容器和系統來說,內壁應盡可能光滑,不要有死角，管道要盡可能短.要用致密的材料,最好用不銹鋼管。系統在正式使用和測量之前,要有足夠的時間進行吹掃.一般需要二三天吹掃，視吹掃流量的大小而定。
1.3露點儀的精度問題
對凈化氣體中的微量水,大多數的用戶都喜歡用露點(DP)來表示,也有少數用戶喜歡用PPm來表示,這二者之間并不是線性關系。為了能直接顯示露點值(DP),儀器要經過線性化處理。
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