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微量氧分析儀的原理主要有化學(xué)電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測(cè)的氧氣先通過(guò)一個(gè)小的毛細(xì)口傳感器，然后通過(guò)一個(gè)疏水膜擴(kuò)散進(jìn)入，到達(dá)電極表面。傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證會(huì)有適量的氣體進(jìn)入與感應(yīng)電極反應(yīng)產(chǎn)生足夠的電信號(hào)，并同時(shí)防止電解液泄漏出傳感器。通過(guò)疏水膜擴(kuò)散進(jìn)入傳感器里的氣體在感應(yīng)電極發(fā)生氧化/還原反應(yīng)，電極間連接一個(gè)電阻，這樣，陰極和陽(yáng)極間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)與氧濃度成正比的電流。通過(guò)檢測(cè)這個(gè)電流，就反應(yīng)出氣體中的氧濃度。