等離子質譜儀是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。它是一種靈敏度非常高的元素分析儀器，ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離，在儀器中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子；質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質。
等離子質譜儀的兩種掃描方式：
等離子質譜儀掃描方式有兩種，全掃描與選擇離子掃描：
1.全掃描：是對質量范圍內的離子全部掃描并記錄,得到的是正常的質譜圖,這種質譜圖可以提供未知物的分子量和結構信息。可以進行庫檢索。
2.等離子質譜儀還有另外一種掃描方式叫選擇離子監測。此種掃描方式是只針對選定的離子進行檢測，而其它離子不被記錄。它的優點：
①對離子進行選擇性檢測：只記錄具有特征的、感興趣的離子，不相關的，干擾離子統統被排除；
②選定離子的檢測靈敏度大大提高：在正常掃描情況下，假定一秒鐘掃描2～500個質量單位。那么，掃過每個質量所花的時間大約是1/500秒，也就是說，在每次掃描中，有1/500秒的時間是在接收某一質量的離子。在選擇離子掃描的情況下，假定只檢測5個質量的離子，同樣，也用一秒，那么，掃過一個質量所花的時間大約是1/5秒。也就是說，在每次掃描中，有1/5秒時間是在接收某一質量的離子。因此，采用選擇離子掃描方式比正常掃描方式靈敏度可提高大約100倍。由于，選擇離子掃描只能檢測有限的幾個離子，不能得到完整的質譜圖，因此，不能用來進行未知物定性分析，但是，如果選定的離子具有很好的特征性，也可以用來表示某種化合物的存在。選擇離子掃描方式最主要的用途是定量分析，由于它的選擇性好，可以把由全掃描方式得到的非常復雜的總離子色譜圖變得十分簡單。消除其它組造成的干擾。
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