熱式氣體質量流量計表是基于熱擴散原理而設計的，該儀表采用恒溫差法對氣體進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。

傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一個傳感器不間斷地測量介質溫度T1；另一個傳感器自加熱到高于介質溫度T2，當有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走，使T2的溫度下降，若要使ΔT保持不變，就要提高T2的供電電流，氣體流動速度熱快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數關系，這就是恒溫差原理。

流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力，它是科里奧利在1832年研究輪機時發現的，簡稱科氏力。在1977年由美國高準(Micro Motion)公司的創始人根據此原理研發出上第一臺可以實際使用的質量流量計。質量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的流量管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有檢測線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動，工業過程的流體介質流經傳感器的振動管，就會在振管上產生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動，安裝在振管兩端的檢測線圈將產生相位不同的兩組信號，這兩個信號的相位差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時，振管的主振頻率不同，據此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。

熱式氣體質量流量計表具有如下技術優勢：

• 真正的質量流量計，對氣體流量測量無需溫度和壓力補償，測量方便、準確?？傻玫綒怏w的質量流量或者標準體積流量。

• 寬量程比，可測量流速高至100Nm/s低至0.1Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。

• 抗震性能好使用壽命長。傳感器無活動部件和壓力傳感部件，不受震動對測量精度的影響。

• 安裝維修簡便。在現場條件允許的情況下，可以實現不停產安裝和維護。（需要特殊定制）

• 數字化設計。整體數字化電路測量，測量準確、維修方便。

• 采用RS-485通訊，或HART通訊，可以實現工廠自動化、集成化。