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產品簡介

PICO系列等離子清洗機Pico 等離子設備能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統一同使用的較常見的選裝件。

PICO系列等離子清洗機

Pico 等離子設備能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統一同使用的常見的選裝件。

Pico 等離子系統主要應用于以下領域：

小批量生產

分析 (REM, TEM)

醫療技術

滅菌

研究和開發部門

考古

紡織技術

塑料技術

PICO系列等離子清洗機規格參數：

系列	Pico系列
控制系統	半自動型 PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	4~15L
真空腔室	圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約Φ 150 mm, 長 320 mm 或者長 600 mm）或者矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm）
電極	單層或多層 RIE
樣品支架	（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質量流量控制器 (MFCs)
壓力計	Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器	數字型
高頻電流發生器	40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有發生器均為 0 - * 無級可調型
真空泵	KASHIYAMA
電源	臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位