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PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子?經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

PR500/510等離子灰化機

高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm 

低溫等離子·經典桶型。 

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制

低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

用途 

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓，玻璃基板對應 

特征 

● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔

● 小型一體化設計

● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型） 

規格 

型號		PR500	PR510
模式		DP模式，桶型
控制部	高頻輸出功率	Max500W
	頻率	13.56MHz
	同調方式	自動協調
反應部	反應腔	石英 Φ215×305mm
	反應氣體	2系統（O2／CF4）
	控制	手動	觸摸屏自動控制
	配管材質	不銹鋼、特氟龍
外形尺寸		W438×D520×H760mm	參照規格書
重量		約60kg	參照規格書
電源		單相AC100V 9A	三相AC200V 8A