微量氣體流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度,另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
微量氣體流量計在計量過程中影響準確性的因素。主要有以下幾個方面：
1、不合理的管道設計可能造成較大的計量誤差。兩條并聯的管道，當主管網用氣時，分管網手動閥關閉。儀器計量正常，當分管網也用氣時，手動閥打開，由于主管道的氣體由分管道分流一部分，會使主管道內的氣壓下降，使得流量計表前的壓力小于表后的壓力，流量計反轉，流量計也累積流量，造成了雙倍計量。為避免這種情況必須在1號流量計前面安裝一個單向閥。
2、安裝方式正確有助于提高計量準確性和延長使用壽命。安裝到管道上時，應保證儀器表體上的螺紋孔和管道法蘭的螺孔對準，保證法蘭的平行度，避免儀器承受其他外力，防止表體受力變形，使儀器卡死。開啟時，應先打開前閥門，然后緩慢打開后閥門，使流量計有壓啟動，避免由于氣錘效應，氣體把流量計轉子沖擊變形，造成流量計卡死。
3、高壓計量低壓用氣。就是將計量室安裝到高壓管道上，然后通過調壓器調壓，用氣戶在低壓管道上用氣，當低壓管道的用氣戶用氣量不大時，根據氣體狀態方程，在溫度相差不多時，低壓管道的小流量反算到高壓管道流量會更小，甚至這個流量達不到流量計的始動流量。流量計不計數。所以會引起較大的計量誤差。
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