1、儀器應放在清潔干燥的室內（室溫20℃±5℃，濕度低于60%），避免光學零件表面污損、金屬零件生銹、塵埃雜物落入運動導軌，影響儀器性能；
2、傳動機構及運動導軌、應定期上潤滑油，使機構運動順暢，保持良好的使用狀態。
3、工作臺玻璃及油漆表面臟了，可以用中性清潔劑與清水擦拭干凈。絕不能用有機溶劑擦拭油漆表面，否則，會使油漆表面失去光澤。
4、設備的精密部件，如影像系統、工作臺、光學尺以及Z軸傳動機構等均需精密調校，所有調節螺絲與緊固螺絲均已固定，不要自行拆卸，如有問題請通知廠商解決。
5、儀器所有電氣接插件、一般不要拔下，如已拔掉，則必須按標記正確插回并擰緊螺絲。不正確的接插、輕則影響儀器功能，重則可能損壞系統。
6、使用完畢后，工作面應隨時擦拭干凈，可以再罩上防塵套。
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