日本雅瑪拓* PDC610多段式等離子清洗機高輸出 600W電極尺寸 Φ215×305mm，屬于小型、多段式離子清洗機
用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質處理
● 灰化、蝕刻處理
● 塑料封裝前處理
● 印刷基板鍍層前處理
● LED關聯部品處理
● 電子部品清洗
● 光刻膠剝離或表面殘留物去除
● 光學、金屬、機械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化樹脂的樹脂類產品表面改質
● FCC對應
特征
● 600W的小型高輸出功率
● 電極可選擇1·2·3段（采購時）
● 可處理縱型的試料收納盒
● 可選擇RIE/DP模式（采購時）
● 數據記錄器（選配）
● 適配點記憶功能（選配）

PDC610多段式等離子清洗機的技術規格

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13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載 RIE·DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征
● 可變更電極構造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據需求規格提供定制
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除