微量氧分析儀是化學原電池，主要由一個陰極，一個陽極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測氣體中的氧進入電池中陰極附近O2得到電子，陽極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產生的電子由電路引出然后進行補償修正放大，即可測出被測氣體中的氧含量。
微量氧分析儀主要適用于以下這些場合測定：
1、對工礦企業環境、船艙、坑道、化工、化肥工業氣體中氧含量的測定，對避免生產過程由于過氧而發生的系統爆炸，及防止檢修人員在缺氧環境中發生窒息事故是很有效的。
2、對內燃機排氣中氧含量及煙道氣中氧含量的檢測，以達到合理控制燃燒而節約燃料。
3、對糧食、果品、蔬菜、煙草、中草藥、干果等的氣調貯藏中進行氧含量測定。
4、對醫療事業中麻醉機、高壓氧艙嬰兒保育箱以及宇航、潛水作業氧含量分析。
5、是中學，高等院校，醫學院的物理，化學，生物等方面實驗*的實驗設備。
6、適應在氣象部門、制藥廠針劑質檢中的氧含量測定。
會對微量氧分析儀造成影響的因素：
1、泄漏：在初次啟用前必須嚴格檢漏。儀器只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及儀器內部，從而得出含氧量偏高的結果。
2、污染：在重新使用儀器時，首先須注意在連接取樣管路時是否漏入空氣，并且必須認真將漏入的空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過傳感器以延長傳感器壽命。在管道系統凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化管道。
3、管道材質的選擇：管道材質及表面粗糙度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。通常選用銅管或不銹鋼管，對超微量分析(指<0.1ppm)則必須用拋光過的不銹鋼管。
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