ULVAC干式真空泵NRL180A卡死維修

愛發科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處

理、液晶注入等），排出非活性氣體行業對泵的腐蝕性很大，大多數真空泵都是因為腐

蝕后轉數慢，影響到生產效率，需要專業的廠家維修，東莞真空承接愛發科

NRL180A干式螺桿真空泵維修。

針對真空泵腐蝕的修復方法：

*清除表面氧化層，用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專業

的安裝方式完工。

愛發科NRL系列在低溫領域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮

短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

愛發科真空泵NRL180A特點：

低噪音、低振動、*的耐腐蝕性。

標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵

體內部的腐蝕程度。

隨泵配送選購件：

可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

適用于行業：

活性氣體（CVD/刻蝕等）

排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單品爐等）

可用前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）

冷凍干燥等水蒸氣排氣。

真空泵維修流程安排：

*、初步了解真空泵現狀

服務：如有需要，會在24小時內派出專業技術人員趕赴現場確認真空泵故障。

第二、確定真空泵故障原因

服務：真空泵確認了解故障原因后，擬定出具體維修方案與周期、甲乙雙方簽定協議

后，珠三角地區甲方安

排人員上門提泵，其他區域客戶可以選擇物理快遞。

第三、真空泵拆開報價

服務：為了讓客戶更清晰的知道維修費用，會給出詳細的維修清單及費用明細

第四、確認真空泵維修

服務：客戶同意維修費用后開始維修，維修后所換配件全部還客戶。

第五、真空泵維修完畢后試機，一般測試時間是24小時。

服務：確保維修過后達到的真空度和穩定性能，真空度達到出廠標準。

第六、配送真空泵上門安裝調試

服務：在試機OK后24小時內，客戶可當初驗收真空泵，看試機運轉效果。

第七、統一質保修六個月，定期回訪、并提供免費技術支持。

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