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在導熱油泵使用的過程中,由于真空泵油直接進入泵體內腔，在真空泵運行時，隨著氣體壓強的逐漸降低，泵溫的逐漸升高。油品中飽和蒸汽壓高的分子組分就能蒸發到真空的空間，即影響真空泵極限壓強的達到，又可向真空系統返流擴散，污染真空系統，并直接影響極限真空的獲得。真空齒輪泵工作原理屬于正位移泵，導熱油泵工作時依靠主、從動齒輪的相互嚙合造成工作容積變化來輸送熔體。工作容積由泵體、齒輪的齒槽及具有側板功能的軸承套構成。當齒輪旋轉時，熔體即進入吸入腔兩齒輪的齒槽中，隨著轉動，熔體從兩側被帶入排出腔，齒輪再度嚙合，使齒槽中的熔體被擠出排出腔，壓送到出口管道。軸承不能使用通常的潤滑油脂，以避免污染熔體，通常采用熔體自潤滑。 使導熱油泵的工作室不斷增大或縮小，當工作室的容積變得小時，即與真空泵的入氣管連通，于是氣體就進入逐漸變大的工作室空間；當工作室的容積擴大時，即與入氣管分開，使容積閥就打開。泵腔內容積不斷膨脹與壓縮，完成吸氣和排氣過程，使容器內氣體逐漸排出達到需要的真空度。真空泵運行時，隨著泵腔內轉子的旋轉，轉子上兩個縱向槽中的滑片或偏心輪上的滑閥環，緊貼著定子的內壁滑動，轉子、滑片與定子導熱油泵內壁必然依靠油品的潤滑性避免摩擦副材料的擦傷，利用油品隔離大氣，并帶走因摩擦產生的熱量。因此，真空泵油在泵體內擔負著潤滑、密封、和冷卻的作用。

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