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VICI D-4型PDHID檢測(cè)器的主要技術(shù)指標(biāo)如下：

• 檢測(cè)限：對(duì)大多數(shù)化合物的最小檢測(cè)量低至ppb級(jí)，可檢測(cè)到痕量級(jí)別的雜質(zhì)，如在高純氦雜質(zhì)分析中，對(duì)H₂、O₂、Ar、N₂、CO₂、CH₄等雜質(zhì)的最小檢測(cè)量?jī)?yōu)于20ppb。

• 線性范圍：在很寬的范圍內(nèi)呈線性，線性范圍可達(dá)10⁵。

• 操作溫度：操作溫度可達(dá)400℃。

• 響應(yīng)特性：對(duì)無(wú)機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)，且對(duì)所有氣體的響應(yīng)值為正，即穩(wěn)定電流增加。

• 載氣及流量：通常使用氦氣作為載氣，載氣流量范圍一般在0-1000ml/min。

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