首頁 >> 供求商機
KOSAKA LAB ET4000A 微細形狀測定機（探針接觸式臺階儀）株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創立的公司，為日本發表表面粗糙度計的廠商，公司具有悠久歷史與專業的技術背景。公司主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。探針接觸式微細形狀測定機（表面輪廓臺階儀）特點： l 臺階再現性與線性度。 l 超高直線度保證，可確保量測圖形不受移動軸影響，并可在保證直線度的前提下長距離量測，同時解析表面翹曲度、波紋度、內應力等。 l 采用超低噪音直動式傳感器 LVDT（差動變壓器），超低測定力的觸針可對應各類型樣品表面。 l 配備高分辨率的 CCD 即時進行高精度定位測量，實時觀測測量過程。 l 中文化軟件除臺階分析外并具有粗糙度解析功能，可對應各種規范，測定參數多達 60 多種。 l 適用于各種與微米、納米材料有關的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等的膜厚、臺階、段差測量。技術參數：一、測定工件： 1. 工作臺尺寸 220mm×220mm 2. 大工件尺寸 210mm×210mm 3. 大工件厚度 50mm 4. 大工件重量 2kg 二、檢出器（pick up）： 1. Z 方向測定范圍 Max. 100µm 2. Z 方向分解能 0.1nm 3. 測定力 0.5uN ~500uN(0.05mgf~50mgf) 4. 觸針材質、半徑、夾角 鉆石、0.5 , 2 µm、60%夾角 5. 驅動方式 直動式 6. 再現性 1σ= 0.5nm(全量程)、1um 以下臺階重現性可達 0.2nm 以下三、X 軸 (基準軸)： 1. 移動量(大測長) 100mm 2. 移動的真直度 0.005µm/5mm 3. 測定速度 0.005 ~ 2mm/S 4. 位置定位時速度 Max. 10mm/S 5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01µm 6. 位置定位再現性 ± 5µm 四、Y 軸(位置決定用)： 1. 移動量 52mm 2. 移動速度 max.3mm/S 3. 檢出器自動停止機能六、工件臺： 1. 工件臺尺寸 220mm×220mm 2. 自動傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/150m 七、全自動量測功能八、工件觀察裝置 max. 80 倍(可選購其它高倍率 CCD) 九、床臺 材質為花崗巖石十、防振臺(選購) 落地型或桌上型十一、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA 十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺) 十三、本體重量 一體花崗巖結構約 220Kg(不含防震臺及解析部份)
6