臭氧老化箱故障以及排除方法有以下幾種：
對比法：要求有兩臺同型號的臭氧老化箱有一臺是正常運行的。按比較的性質分有電壓、波形、靜態阻抗、輸出結果以及電流比較等。
敲擊手壓法：經常性遇到臭氧老化試驗箱在運行時，時而好時而壞的現象，這種現象大部分是接觸不良或虛焊造成的。
升降溫法：臭氧老化箱工作較長時間或在溫度較高時就會出現故障，關機檢查是正常的，但過一會又出現故障。這種現象應該是個別IC或元器件性能差高溫特性參數達不到指標要求所導致的。可采用升降溫法找到出現故障的位置。
如臭氧老化試驗箱開機后30秒二次表沒有臭氧濃度值顯示、只有上線或下限顯示。檢查臭氧變送器連接線是否脫落或松動。出現下限可能是因為變送器零點過低，需要調整零點。先打開變送器前蓋，再把萬用表調至電壓檔來測量上面的兩根銅針。
做實驗時臭氧濃度顯示數值不能穩定控制數值范圍，時高時低。一般出現這種情況基本上，是在安裝變送器是變送器與箱體有連接處，這需要做好變送器與箱體的絕緣即可。
上述幾種情況都沒有出現，臭氧濃度也橫高，就是現實數值而不上升：這種現象一般在變送器接錯線的情況下燒壞變送器里的三極管造成的。做臭氧老化試驗箱試驗時臭氧發生器一直在工作，顯示的數值也一直上升、控制不住。這種現象通常是固態輸出信號不對或固態繼電器斷不開。
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