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INFICONCrystal12®傳感器
INFICON晶體12傳感器與INFICON IC 6薄膜沉積控制器結(jié)合使用時(shí)，可自動(dòng)更換其晶體，而無(wú)需中斷過(guò)程。晶體不穩(wěn)定或失效時(shí)，IC6會(huì)立即向晶體12傳感器旋轉(zhuǎn)傳送帶發(fā)送信號(hào)，要求其立即將新晶體旋轉(zhuǎn)到位，從而實(shí)現(xiàn)持續(xù)沉積速率監(jiān)控。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
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裝有12顆晶體,可進(jìn)行可靠的自動(dòng)轉(zhuǎn)換,從而大限度延長(zhǎng)過(guò)程運(yùn)行時(shí)間 易于拆卸的旋轉(zhuǎn)傳送帶允許快速更換所有12顆晶體 晶體轉(zhuǎn)換由空氣驅(qū)動(dòng)完成(競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品是使用生熱電機(jī)),因而晶體溫度非常穩(wěn)定 易于拆卸的前沉積罩保護(hù)晶體和旋轉(zhuǎn)傳送帶上不會(huì)積存材料,從而大限度減少拆卸整個(gè)傳感器以進(jìn)行維護(hù)的必要性 可選安裝后套件允許用戶根據(jù)公制硬件大小自行修改