隨著光學(xué)的飛速發(fā)展，普通
反射鏡已無(wú)法滿足精密光學(xué)儀器的需求了，于是誕生了一系列的反射鏡，通過(guò)介紹以下幾類(lèi)反射鏡我們來(lái)簡(jiǎn)單了解一下：
1.超級(jí)反射鏡
在進(jìn)行高精度檢測(cè)距離或時(shí)間的時(shí)候，常會(huì)用到Fabry–Pérot干涉儀，此類(lèi)反射鏡的誕生就是為了提高Fabry–Pérot干涉儀的性能，在實(shí)際使用的過(guò)程中，超級(jí)反射鏡的反射率達(dá)到99.999%。在制作的過(guò)程中采用離子束濺射（IBS）鍍膜方式，從而獲得細(xì)密而無(wú)缺陷的高質(zhì)量光學(xué)膜。由于基板和光學(xué)膜的散亂損失非常小，用其來(lái)構(gòu)建法布里-珀羅腔，可以得到非常窄的光譜帶寬和高銳度。
2.飛秒激光用反射鏡
分低分散反射鏡和負(fù)分散反射鏡兩種：
低分散反射鏡在脈寬100 fs以下的超短脈沖激光中使用的波長(zhǎng)分散也可以做到很小，通過(guò)考慮波長(zhǎng)分散、波長(zhǎng)范圍、激光損傷閾值的優(yōu)化特殊膜系設(shè)計(jì)，可抑制多個(gè)反射鏡的反射引起的脈沖寬度變寬的影響。此類(lèi)反射鏡也可用于飛秒時(shí)間分辨光譜裝置的光學(xué)系統(tǒng)或飛秒激光導(dǎo)入顯微鏡系統(tǒng)。需注意在光線以45°以外的角度入射時(shí)，可能無(wú)法做到波長(zhǎng)分散補(bǔ)償；P偏光與S偏光相比，反射率變低，反射譜區(qū)變窄。
負(fù)分散反射鏡是用于波長(zhǎng)分散為負(fù)的特殊反射鏡，主要用于飛秒激光諧振腔的分散補(bǔ)償，在諧振腔內(nèi)，使光線在諧振腔內(nèi)的兩枚負(fù)分散反射鏡之間往返數(shù)次，可以抵消諧振腔內(nèi)的波長(zhǎng)分散。需注意在使用的過(guò)程中光線入射角度需要在0-20°之間，在其他角度入射時(shí)可能無(wú)法做到分散補(bǔ)償。
3.電介質(zhì)膜反射鏡
根據(jù)使用用途的不同會(huì)有差異，目前主要有強(qiáng)激光用電介質(zhì)反射鏡、超帶寬電介質(zhì)膜反射鏡和入射角可變激光譜線反射鏡。
①?gòu)?qiáng)激光用電介質(zhì)膜反射鏡主要適用于高功率，脈沖Nd-YAG激光或準(zhǔn)分子激光的光學(xué)系統(tǒng)。在YAG激光器中，用作從基波（1064 nm）到4次諧波（266 nm）的反射鏡，也用作ArF（193 nm），KrF（248 nm）的準(zhǔn)分子激光的反射鏡；
②超帶寬電介質(zhì)膜反射鏡，這類(lèi)反射鏡在紫外譜區(qū)、可見(jiàn)光譜區(qū)和紅外譜區(qū)都有著高反射率，即使是在紫外和紅外譜區(qū)，也比一般金屬膜反射鏡要高；
③入射角可變激光譜線反射鏡，適用于邁克爾遜干涉儀或其他需要在兩面反射鏡之間反復(fù)多次反射的、入射角需要小于45°的光學(xué)系統(tǒng)中。當(dāng)入射角固定時(shí)，可用的波長(zhǎng)范圍較寬。
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