微區電化學掃描顯微鏡由以下基本部分組成：產生電子束的柱形鏡簡，電子束與樣品發生相互作用的樣品室，檢測樣品室所產生信號的探頭，以及將信號變因像的數據處理與顯示系統。
微區電化學掃描顯微鏡的保養方法：
1.保持儀器操作臺面整潔，不允許身體倚靠，凍水機等裝置不可放置重物
2.開機時一定要先開水冷系統,并要檢查冷卻水的溫度，關機至少15分鐘后才能關閉冷卻水
3.進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置.緩緩關閉樣品室,確保進樣倉門*關閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣
4.移動樣品，通過配合移動Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動，從而移動樣品，并保證小于較大允許值
5.傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當心，不要撞壞探頭。要根據樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的較大安全角度必須小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴
6.用BSE探頭時不可傾斜樣品臺
7.樣品只有在加速電壓關閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時要關閉高壓
8.放氣時HT必須處于關閉狀態，必須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門
9.更換鎢燈絲時， 等待兩分鐘時間，然后打開電子槍，用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷
10.電鏡需要手動調節的部分主要有光闌,象散，工作距離調節的旋鈕等，其他部件不允許調整
11.每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過四天。
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