原子熒光光譜儀通過測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發下產生的熒光發射強度，來確定待測元素含量。
原理：
原子熒光光度計利用惰性氣體氬氣作載氣，將氣態氫化物和過量氫氣與載氣混合后，導入加熱的原子化裝置，氫氣和氬氣在特制火焰裝置中燃燒加熱，氫化物受熱以后迅速分解，被測元素離解為基態原子蒸氣，其基態原子的量比單純加熱砷、銻、鉍、錫、硒、碲、鉛、鍺等元素生成的基態原子高幾個數量級。
原子熒光光譜儀的優點：
<1> 檢出限低，靈敏度高。火焰原子吸收法的檢出限可達到ppb級，石墨爐原子吸收法的檢出限可達到10-10-10-14g。
<2> 分析精度好。火焰原子吸收法測定中等和高含量元素的相對標準差可<1%，其準確度已接近于經典化學方法。石墨爐原子吸收法的分析精度一般約為3-5%。
<3> 分析速度快。原子吸收光譜儀在35分鐘內，能連續測定50個試樣中的6種元素。
<4> 應用范圍廣。可測定的元素達70多個，不僅可以測定金屬元素,也可以用間接原子吸收法測定非金屬元素和有機化合物。
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