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一、真空機組組工作過程
①吸氣：陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。吸氣過程即將開始時的轉子位置。在這一時刻，這一對齒前端的型線*嚙合，且即將與吸氣口連接。隨著轉子開始轉動，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴大，在其內部形成了一定的真空
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一、真空機組組工作過程
①吸氣：陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。吸氣過程即將開始時的轉子位置。在這一時刻，這一對齒前端的型線*嚙合，且即將與吸氣口連接。隨著轉子開始轉動，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴大，在其內部形成了一定的真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中。在隨后的轉子旋轉過程中，陽轉子齒不斷從陰轉子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴大，并與吸氣孔口保持連通。隨著轉子的旋轉，齒間容積不會再增加，在此位置與吸氣孔口斷開，吸氣過程結束。
②壓縮：陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉于沿逆時針方向旋轉。此時氣體被轉子齒和機殼包圍在一個封閉的空間中，齒間容積由于轉于齒的嚙合就要開始減小。隨著轉子的旋轉，齒間容積由于轉子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據體積也隨之減小，導致壓力升高，從而實現氣體的壓縮過程。
③排氣：齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，封閉的齒間容積的體積變為零。
二、真空機組性能特點
1、工作腔內無潤滑油存在，避免了因潤滑油乳化、變質而出現的運行故障，提離了系統的穩定性，可獲得清潔真空。工作腔及螺旋轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣的工況。