氫氮混合儀主要技術指標

氮氣最大流量3200SLM，氫氣最大流量320SLM

質量流量控制器準確度：≤±1％Rd

質量流量控制器重復精度： ±0.2％

響應時間：≤1 sec

耐壓： 1MPa

漏氣率： 1×10-9SCCSHe

通道材料： 316L 和304 不銹鋼

進出氣口連接尺寸：氫氣1/2英寸，氮氣1英寸，混合氣出口1 1/2英寸

預熱時間：＜1min

儀器重量：約170Kg；

氫氮混合儀 工作環境條件

工作溫度為 -10 ℃～60 ℃；

相對濕度為0-100%，無冷凝水；

工作電源為交流 220 V±22 V、頻率 50 Hz ±1Hz；

注意：

☆ 在對有毒有害氣體進行配氣時，必須嚴格做好防護措施，嚴格檢查管路聯接的氣密性。配氣結束后必須在防護措施未撤之前對管路用無毒氣體進行*清洗，以排除管路內殘   留的有毒有害氣體。

☆ 在對有腐蝕性氣體進行配氣時，需要根據配制氣體的化學特性選用耐此類腐蝕材料

型號的配氣儀，以保證精度和延長儀器的使用壽命。

☆建議用戶在各通道進氣口處分別安裝一只減壓閥，當某一通道不使用或暫時不使用

時，可將該通道減壓閥關閉，以確保該通道不會漏入氣體；

儀器操作

儀器開機自檢正常后，通過觸屏選擇進入配氣界面。異常情況請參考“常見問題   與解決"。

關閉減壓閥輸出閥，打開氣瓶閥門，氣瓶閥門打開后，減壓閥高壓壓力表的壓力值會與氣瓶壓力值一致，一般壓強 1Mpa 以上。如果減壓閥不漏氣，高壓壓力表的壓力值會一直保持不變，有嚴重漏氣時可聽到明顯的氣流聲，應立即關閉氣瓶重新連接。

連接好各路減壓閥和儀器輸入管路，并連接好儀器輸出管路，然后緩緩開啟每路減壓閥開關，確保減壓閥減壓輸出的壓強大于 0.05MPa，推薦調整輸出壓強為 0.1MPa，一般使用壓力小于0.3MPa(通過低壓壓力表觀察和調整最后壓強輸出)。

注意：

儀器啟動配氣前氣路處于關閉狀態。儀器的氣路閥門關閉后可暫時作為減壓閥的關閉閥使用，在儀器斷電關閉后或長時間未啟動配氣工作，請關閉對應通道減壓閥閥門，以免儀器氣路閥門長期受力影響流量精度