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六氟化硫氣體傳感器的優勢體現在哪里呢？
閱讀：752 發布時間：2020-7-9
六氟化硫氣體傳感器的優勢體現在哪里呢？
從檢測氣體種類上，通常分為可燃氣體傳感器（常采用催化燃燒式、紅外、熱導、半導體式）、有毒氣體傳感器（一般采用電化學、金屬半導體、光離子化、火焰離子化式）、有害氣體傳感器（常采用紅外、紫外等）、氧氣（常采用順磁式、氧化鋯式）等其它類傳感器。
從使用方法上，通常分為便攜式氣體傳感器和固定式氣體傳感器。
從獲得氣體樣品的方式上，通常分為擴散式氣體傳感器（即傳感器直接安裝在被測對象環境中，實測氣體通過自然擴散與傳感器檢測元件直接接觸）、吸入式氣體傳感器（是指通過使用吸氣泵等手段，將待測氣體引入傳感器檢測元件中進行檢測。根據對被測氣體是否稀釋，又可細分為*吸入式和稀釋式等）。
從分析氣體組成上，通常分為單一式氣體傳感器（僅對特定氣體進行檢測）和復合式氣體傳感器（對多種氣體成分進行同時檢測）。
按傳感器檢測原理，通常分為熱學式氣體傳感器、電化學式氣體傳感器、磁學式氣體傳感器、光學式氣體傳感器、半導體式氣體傳感器、氣相色譜式氣體傳感器等。
六氟化硫氣體傳感器采用非色散紅外(NDIR)檢測技術，傳感器采用進口高精度紅外發射探測器及工業級高穩定單片機,具有抗其他氣體干擾，長期穩定性好，壽命長、精度高等特點。適用于長時間在線檢測，廣泛應用于電力氣體檢漏、在線監測、工業過程分析等多種場合。
六氟化硫氣體傳感器的優勢在于：
(1)微型化：MEMS器件體積小，一般單個MEMS傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計量單位，重量輕、耗能低。同時微型化以后的機械部件具有慣性小、諧振頻率高、響應時間短等優點。MEMS更高的表面體積比(表面積比體積)可以提高表面傳感器的敏感程度。
(2)硅基加工工藝，可兼容傳統IC生產工藝：硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度類似鋁，熱傳導率接近鉬和鎢，同時可以很大程度上兼容硅基加工工藝。
(3)批量生產：以單個5mm×5mm尺寸的MEMS傳感器為例，用硅微加工工藝在一片8英寸的硅片晶元上可同時切割出大約1000個MEMS芯片，批量生產可大大降低單個MEMS的生產成本。
(4)集成化：一般來說，單顆MEMS往往在封裝機械傳感器的同時，還會集成ASIC芯片，控制MEMS芯片以及轉換模擬量為數字量輸出。同時不同的封裝工藝可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統。
(5)多學科交叉：MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，并集約了當今科學技術發展的許多成果。