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詳細(xì)介紹
SU-8模具的軟光刻UV系統(tǒng)
產(chǎn)品SKU： BHL-SOFT-LITHO-UV
分類： 微細(xì)加工
這個實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)室的紫外線LED室是制造具有專業(yè)品質(zhì)的SU-8模具的解決方案。將光敏化學(xué)品暴露于紫外線下以形成模具的圖案，然后將其用于微流控芯片的制作。易于使用，過程*指導(dǎo)且高度準(zhǔn)確。您甚至不需要潔凈室即可使用它！
為什么要制造自己的SU-8模具？
多虧了這個紫外線室，您可以控制自己的知識產(chǎn)權(quán)，避免浪費(fèi)時間與中介機(jī)構(gòu)進(jìn)行討論，并且可以更快地設(shè)置任何新的實(shí)驗(yàn)。該設(shè)備甚至不需要潔凈室即可達(dá)到專業(yè)精度：充分利用專業(yè)制造的優(yōu)勢，而*！
特點(diǎn)與優(yōu)勢
準(zhǔn)確
單色紫外線曝光（帶寬低于10 nm）。
高度準(zhǔn)直：光發(fā)散角<2°。
分辨率為2µm：適用于微流體的大多數(shù)應(yīng)用。
方便
LED燈：無加熱，壽命超過10000小時，無預(yù)熱時間。在365 nm或385 nm的波長之間選擇。
緊湊安全：您無需任何潔凈室即可使用它。
即插即用，用戶友好的觸摸屏界面，用于編程。
該系統(tǒng)與硬掩膜觸點(diǎn)或軟掩膜觸點(diǎn)兼容，并且可以設(shè)置掩膜和基板之間的各種距離。
強(qiáng)大的支持
如果需要，我們的團(tuán)隊(duì)將在微細(xì)加工過程的每個步驟中為您提供指導(dǎo)。我們可以隨時幫助您解決問題。
我們很樂意告訴您有關(guān)此產(chǎn)品的更多信息！歡迎與我們聯(lián)系。
- 沒有預(yù)熱時間
- 閃光模式曝光：無機(jī)械應(yīng)力，延長了機(jī)器使用壽命
- 自動化晶圓裝卸系統(tǒng)
- 兼容玻璃和塑料口罩
- 觸摸屏界面
該設(shè)備具有1年保修，并通過電子郵件，電話或Skype提供技術(shù)支持。
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