SER1000系列 粗糙度輪廓儀
基本參數
X軸：0-220mm可選Z軸：0-620mm可選 Z1軸：C:±0.5mm~5mm/R:±400μm輪廓傳感器線性精度：≤0.15%f.s.粗糙度傳感器線性精度：≤±(12nm + 6%)

SER1000系列 粗糙度輪廓儀產品特點

標準型，使用成本低。

電感式粗糙度輪廓傳感器

無導頭粗糙度測量

小量程高精度輪廓度測量

粗糙度、輪廓測量的復合機型

粗糙度、輪廓共用傳感器，測量功能切換僅需更換測針即可

推薦規格

測量功能

輪廓測量功能

各種類型工件表面的線要素，點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進行直線度分析、凸度分析、輪廓度分析。

粗糙度測量功能

粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波紋度參數：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr

原始輪廓參數：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

規格號

SER1000

X軸

100~220mm

測量范圍

Z軸

320~620mm

Z1軸

C:土0.5～±5mm/R:士400ur

Z1線性精度:≤士0.15％.s

圓弧Pt

土0.3

輪廓精度

角度

士2

直線度0.5um/100mm線性精度:≤±(12nm+6％)殘值噪聲0.025um

粗糙度精度重復性

16≤3nm

截止波長:0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm評定長度cX2、3、4、5、6、7

X軸

0.1~10mm/s

驅動速度

Z軸

0.5~10mm/s

各種類型工件表面的線要素，點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的

輪廓

位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進行直線度分析、凸度分析、輪廓度分析。

測量功能

粗糙度功能:Ra、Rp、RV、R2、Rz(js)、R3z、 RZDIN、Rぶ、Rmax、Rc、

Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、RK、Rpk、Rvk、M

粗糙度

Mr2、Rmr

波紋度參數:Wa、Wt、Wp、W、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr原始輪廓參數:Pa、Pt、Pp、PV、P2Z、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

測量案例