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技術文章

德國mlase 準分子激光器技術參數

閱讀:1965          發布時間:2022-12-6

主要產品

MLI 準分子激光

MLI系列設備為工業應用提供直接波長的準分子激光器。當然,如果需要,基本單元可以根據個人需求進行調整。


MLI-200 / 500 / 1000 準分子激光

MLase 的現代緊湊型準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脈沖能量高達 16 mJ,重復頻率高達 1,000 Hz


市場上具有最高使用壽命和可靠性以及擁有成本的獨立設備。由于光束輪廓均勻,能量穩定,適用于要求苛刻的應用。


帶有附加LC的準分子激光器還可以進行主動水冷(通過生活用水或外部熱交換器;無去離子水),以實現穩定的連續運行。


波長(納米)

193193193248248248

重復頻率(赫茲)

20050010002005001000

穩定的

脈沖能量 (mJ)

666101010

穩定平均功率 (W)

1,23,06,02,05,010

脈沖穩定性(西格瑪 %)

222222

光束尺寸(FWHM,VxHmm)

6×36×36×36×36×36×3

光束發散(FWHM,VxHmm)2×12×12×12×12×12×1

脈沖長度

5-105-105-105-155-155-15



MLI-500 / 1000 準分子激光 LC

波長(納米)

193193248248

重復頻率(赫茲)

50010005001000

穩定的脈沖能量 (mJ)661010

穩定平均功率 (W)

3,06,05,010

脈沖穩定性(西格瑪 %)

2222

光束尺寸(FWHM,VxHmm)

6×36×36×36×3

光束發散(FWHM,VxHmm)

2×12×12×12×1

脈沖長度

5-105-105-155-15


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