您好, 歡迎來到化工儀器網
7
高速微納加工是啥
一、納米壓印技術是一種新型的微納加工技術。該技術通過機械轉移的手段，達到了超高的分辨率，有望在未來取代傳統光刻技術，成為微電子、材料領域的重要加工手段。
二、納米壓印技術，是通過光刻膠輔助，將模板上的微納結構轉移到待加工材料上的技術。報道的加工精度已經達到2納米，超過了傳統光刻技術達到的分辨率。
三、過程：
第一步是模板的加工。一般使用電子束刻蝕等手段，在硅或其他襯底上加工出所需要的結構作為模板。由于電子的衍射極限遠小于光子，因此可以達到遠高于光刻的分辨率。
第二步是圖樣的轉移。在待加工的材料表面涂上光刻膠，然后將模板壓在其表面，采用加壓的方式使圖案轉移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除，防止模板與材料直接接觸，損壞模板。
第三步是襯底的加工。用紫外光使光刻膠固化，移開模板后，用刻蝕液將上一步未去除的光刻膠刻蝕掉，露出待加工材料表面，然后使用化學刻蝕的方法進行加工，完成后去除全部光刻膠，最終得到高精度加工的材料。
四、優勢特點：由于納米壓印技術的加工過程不使用可見光或紫外光加工圖案，而是使用機械手段進行圖案轉移，這種方法能達到很高的分辨率。報道的最高分辨率可達2納米。此外，模板可以反復使用，無疑大大降低了加工成本，也有效縮短了加工時間。因此，納米壓印技術具有超高分辨率、易量產、低成本、一致性高的技術優點，被認為是一種有望代替現有光刻技術的加工手段。