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微米和納米加工制造儀主要加工技術(shù)講解

閱讀:1874      發(fā)布時(shí)間:2021-8-19
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   微米和納米加工制造儀采用了一種非常成熟的設(shè)計(jì),充分考慮到其性能、成本和多樣性。模塊化設(shè)計(jì)理念允許在不同的技術(shù)中使用通用型的機(jī)械元件/電子元件,從而保證了使用方便和成本低廉。該儀器*有能力成為快速加工或新研究的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證工具。

  微米和納米加工制造儀可應(yīng)用的領(lǐng)域包括表面化學(xué)、材料科學(xué)、工業(yè)應(yīng)用、半導(dǎo)體器件的電子元件制造和生物固定和生物傳感應(yīng)用等領(lǐng)域。
 
  微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)、加工、組裝、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù),涉及領(lǐng)域廣、多學(xué)科交叉融合,其主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)(MEMS和NEMS)。微納器件與系統(tǒng)是在集成電路制作上發(fā)展的系列專用技術(shù),研制微型傳感器、微型執(zhí)行器等器件和系統(tǒng),具有微型化、批量化、成本低的鮮明特點(diǎn),對現(xiàn)代生活、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進(jìn)作用,并催生了一批新興產(chǎn)業(yè)。
 
  微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的重要組成部分,是衡量國家高等制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,具有多學(xué)科交叉性和制造要素極度性的特點(diǎn),在推動科技進(jìn)步、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動科技進(jìn)步、保障國防安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種。顯然,微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系。

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