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超微量氣體流量計的發展與應用

閱讀:523        發布時間:2022/9/26
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  一、氣體計量在現代工業生產過程中占有重要地位,一方面,新工藝和新技術等制約其發展的關鍵領域的突破,尤其是微電子技術的迅速發展,使微量氣體計量由機械式向智能化、模塊化方向發展,其應用范圍得到了極大的擴展;另一方面,隨著環境監測、航空航天等應用領域對氣體計量準確度要求的不斷提高,對氣體計量可靠校準和溯源的研究越來越受到重視。
 
  二、應用領域:
 
  1、超微量氣體流量計適用于檢測微小氣體流量,在精密半導體產業、氣體泄漏探測、真空鍍膜等領域
 
  2、用于超微流量氣體計量,測量精度可達ppm級別,可適用于普通氣體、惰性氣體、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測量。適用于氫能、太陽能、沼氣技術、環境微生物降解、污水處理、燃料電池等研究領域。
 
  三、特點:
 
  1、RTK超微量氣體流量計采用自主發明技術GasMeteringCell(GMC),結合自主知識產權的軟件,簡便、精確、直接測量氣體體積或質量,測量精度可達ppm級別。
 
  2、可根據需要拓展為多通道,輕松實現平行實驗,提高工作效率和數據可靠對比性。
 
  四、原理:
 
  測量范圍:最小流量為1毫升/天(ml/d),最大流量為50升/天(L/d)。
 
  測量精確度:<1%。
 
  測量分辨率:<1mL。
 
  通道數:4通道、8通道、16通道。
 
  數據顯示:PC端界面數據、圖形結合顯示。
 
  適用范圍:可用于各種常規氣體及輕微腐蝕氣體的測量。

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