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在使用油擴散泵或分子泵的高真空環境中，都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸氣及其它高沸點的氣體，但機械泵抽除殘余氣體的能力低、時間長。而且殘余氣體還是工件的污染源，影響產品的產量和質量。
水蒸氣、油蒸氣是真空鍍膜領域及高真空獲得領域的主要危害氣體。
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閱讀：160 發布時間：2022-04-26
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北京長流科學儀器有限公司
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在使用油擴散泵或分子泵的高真空環境中，都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸氣及其它高沸點的氣體，但機械泵抽除殘余氣體的能力低、時間長。而且殘余氣體還是工件的污染源，影響產品的產量和質量。
水蒸氣、油蒸氣是真空鍍膜領域及高真空獲得領域的主要危害氣體。