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湖南尚辛創(chuàng)儀器設(shè)備有限公司>>管式爐>> GSL-1100X-6-S科晶單溫區(qū)CVD真空管式爐

科晶單溫區(qū)CVD真空管式爐

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) GSL-1100X-6-S
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 長(zhǎng)沙市
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更新時(shí)間:2022-07-12 09:44:35瀏覽次數(shù):494

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產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 加熱方式 見(jiàn)詳情
價(jià)格區(qū)間 面議 控溫精度 見(jiàn)詳情℃
內(nèi)部尺寸 見(jiàn)詳情mm 升溫速度(達(dá)到最高溫) 小于30分鐘/min
儀器種類(lèi) 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源
最大功率 見(jiàn)詳情kW 最高溫度 見(jiàn)詳情℃
科晶單溫區(qū)CVD真空管式爐是一款爐管內(nèi)徑為6″的真空管式爐,可以在不同氣氛下,在Z大5″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品型號(hào)

 科晶單溫區(qū)CVD真空管式爐

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能殼體溫度<70℃。

  2采用不銹鋼真空密封法蘭,使用雙硅膠密封圈進(jìn)行密封

  3設(shè)有K型測(cè)溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。

  4采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  5已通過(guò)CE認(rèn)證。

科晶單溫區(qū)CVD真空管式爐技術(shù)參數(shù)

  1電源:AC 220V  8KW

  2、石英管:內(nèi)徑Φ152mm,長(zhǎng)1016mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:600mm

  5恒溫區(qū)域200mm

  6工作溫度:zui高1100連續(xù)工作400-1000

  7、zui大升降溫速率:10/min

  8熱電偶:雙K

  9、控溫精度:±1

  10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

  11、鎧裝熱偶檢測(cè)口:1個(gè)

  12、真空接口:KF40

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:1000mm×680mm×920mm重量:250kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

  石英管

1

2

  氧化鋁管堵

2個(gè)

可選配件

  1軟件接口模塊和PC機(jī)

  2、石英管

  3、石英管堵

  4K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn))

  5、真空泵



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