旋轉型等離子低溫灰化儀是一種常用于半導體工業(yè)中去除雜質(zhì)和有機物的設備。該設備通過產(chǎn)生高頻電場，在氣體中產(chǎn)生等離子體，將樣品置于等離子體環(huán)境中，使得樣品表面的雜質(zhì)和有機物分解成較小的分子并氧化。與其它等離子處理設備相比，R-PLT Asher具有更低的處理溫度和更高的處理速率，同時還可以對三維樣品進行處理。
該設備主要由等離子發(fā)生器、旋轉電極和反應室組成。等離子發(fā)生器通過產(chǎn)生高頻電場，將氣體中的原子或分子激發(fā)成等離子體，產(chǎn)生高能量離子、自由基和電子等活性物種。旋轉電極則通過旋轉運動，使得樣品在等離子體中均勻受到處理。反應室則提供一個密閉的環(huán)境，以控制處理過程的壓力和化學環(huán)境。
使用R-PLT Asher進行處理時，首先需要將樣品放置在旋轉電極上，并將反應室密封。然后通過連接等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高頻電場，使得氣體形成等離子體。樣品在旋轉電極的作用下，均勻受到處理。處理時間和處理條件可以根據(jù)不同的樣品進行調(diào)整。
旋轉型等離子低溫灰化儀是一種用于分解有機樣品中的無機成分的儀器。以下是正確使用方法：
1.準備樣品：將有機樣品粉碎至適當大小，并確保樣品干燥、均勻分布。
2.裝載樣品：將樣品裝入樣品艙內(nèi)，注意不要過度填充或壓實。
3.設置參數(shù)：根據(jù)樣品性質(zhì)和實驗需求，選擇合適的氣體流速、功率和時間等參數(shù)。通常建議使用氮氣作為惰性氣體。
4.開始處理：在設定好的參數(shù)下，啟動儀器開始處理樣品。處理結束后，等待樣品冷卻至室溫。
5.取出樣品：將處理后的樣品從樣品艙中取出，注意避免污染和損壞。
6.分析樣品：對處理后的樣品進行必要的分析和測試，如X射線衍射、元素分析等。
7.清潔儀器：清除殘留物和污垢，保持儀器干凈整潔。
注意事項：
1.操作前應熟悉儀器操作手冊并進行必要的安全措施。
2.樣品處理中應避免使用易燃、易爆等危險物質(zhì)。
3.使用過程中應注意保持儀器干燥、清潔，避免污染和損壞。
