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低溫等離子滅菌的原理是利用過氧化氫低溫等離子體進行滅菌?。具體來說，過氧化氫氣體在低溫、真空狀態下汽化擴散至滅菌室的整個空間，通過其強氧化性迅速殺死微生物。隨后，在高頻電場的作用下，過氧化氫被解離為帶電粒子，形成等離子體，進一步破壞微生物的生命物質，從而達到滅菌效果?12。
?汽化過程?：在溫度低于50℃的情況下，滅菌室被真空泵抽成60 Pa以下的真空后，液體狀的過氧化氫經提純加熱后汽化擴散至滅菌室的整個空間，殺死物品表面的部分細菌和病毒?2。
?等離子體形成?：過氧化氫汽化完成后，在高頻電場的作用下，過氧化氫被解離為帶電粒子，形成等離子體，進一步破壞微生物的生命物質?2。
?殘留處理?：產生的等離子體分解過氧化氫在物品和包裝材料上的殘留，確保無毒殘留物?1。
?優點?：
殺菌作用快速、殺菌能力強、殺菌譜廣?1。
刺激性小、容易氣化、不殘留毒性、環保（H2O2易分解為H2O和O2）?1。
沒有安裝要求，沒有通風管道?1。
滅菌溫度低（45℃-55℃），濕度低（10%RH），適合不耐熱不耐濕的精密醫療器械?1。
操作簡單，全自動化程序?1。
?缺點?：
穿透性差，對管腔長度和大小的限制較大?1。
對器械材質有嚴格限制，長時間使用可能導致顏色改變?1。
成本較高?1。
滅菌時器械需絕對干燥、不能上油?1。
不能處理植物纖維制品和粉類、液體?1。
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