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TS102GXY半導體冷熱臺可用于顯微鏡等光學設備。冷熱臺的溫控基于帕爾貼半導體溫控片(TEC),無需液氮制冷耗材即可達到-40℃,適合長時間實驗。冷熱臺使用25 mm x 75 mm標準載玻片,并可進行顯微鏡下樣品精密移動。TS102GXY的熱臺上蓋與臺體構成一個氣密腔,TS102VXY的則是真空腔,腔內可以充入保護氣體或抽真空(依據不同型號),來防止樣品在負溫下結霜。
半導體冷熱臺功能特點
適用于顯微鏡等光學設備
TEC半導體溫控片,降溫時無需液氮制冷耗材,適合長時間實驗
-40℃~120℃可編程控溫(無需制冷耗材)
適用25 mm x 75 mm標準載玻片
在XY方向移動樣品的微分移動尺
可充入保護氣體的氣密腔(另有真空腔型號)
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK
溫控參數
溫度范圍 -20℃~120℃標配
-40℃~120℃可選
加熱塊材質氧化鋁
傳感器/溫控方式100Ω鉑RTD/PID控制
最大加熱/制冷速度+60℃/min(37℃時)
-20℃/min(37℃時)
最小加熱/制冷速度±0.01℃/min
溫度分辨率0.01℃
溫度穩定性±0.05℃
軟件功能 可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線
光學參數
適用光路 透射光路和反射光路
窗片可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離5.6 mm*截面圖中WD
最小聚光鏡工作距離13.6 mm*截面圖中CWD
透光孔φ5 mm*截面圖中φVA
上蓋窗片觀察窗片范圍φ27mm,最大視角±60°*截面圖中θ1
底部窗片觀察最大視角±13°*截面圖中θ2
負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路
結構參數
加熱區/樣品區 40 mm x 40 mm
樣品腔高3.5 mm不放內蓋
2.0 mm放內蓋
*樣品最大厚度=樣品腔高–載玻片厚度
樣品襯底默認為25 mm x 75 mm標準載玻片
*可根據用戶使用需求更換為其他
放樣水平抽出上蓋后置入樣品
樣品XY移動尺可在顯微鏡下移動樣品,分辨率10μm,行程10mm
外殼冷卻通循環水,以維持外殼溫度在常溫附近
安裝方式水平安裝或垂直安裝
臺體尺寸/重量169 mm x 96 mm x 25 mm
800g(TS102GXY),900g(TS102VXY)
配置列表
基本配置 TS102GXY/TS102VXY冷熱臺、mK2000B溫控器、
外殼循環水冷系統
可選配件 冷熱臺安裝支架、真空系統(僅用于真空型號)
適用范圍
用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。
溫控配件系列
安裝支架:用于將溫控裝置固定在用戶設備上
mK2000B溫控器,含InstecAPP溫控軟件,溫控裝置必選
外殼循環水冷系統,帕爾貼式溫控裝置必選
MITO系列溫控聯用顯微鏡相機,含控制軟件
LWDC2長工作距離聚光鏡
真空系統:包括真空泵+真空管路,用于真空型溫控裝置
外殼循環水冷系統
用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時,外殼/底座溫度會被帶得很燙/很涼,危害周遭人員設備甚至設備自身。用循環水讓外殼溫度保持在常溫附近,能有效預防此災害。
mK2000B溫控器
支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨立的多段PID控制、可保存4套20段校準表等特點。可獨立控制,也可從InstecAPP軟件控制。
溫度分辨率±0.001℃(熱敏電阻),±0.01℃(RTD),±0.1℃(熱電偶)
控制接口USB虛擬串口可選其他接口
可選項LVDC線性可調直流電源,用于降低電噪音
溫控軟件 InstecAPP,可提供多語言SDK
安裝支架
針對用戶設備定制,可讓熱臺水平固定/垂直固定等,垂直光路/水平光路等的用戶設備皆可適用。通常有:
圓環式(用于圓形載物臺),平板式(用于方形載物臺)、
載物臺式(用于代替設備載物臺)、立式(用于水平光路)。