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XYZ模塊化高溫探針臺是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。
XYZ模塊化高溫探針臺功能特點
mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學設備
可編程控溫，涵蓋RT~1000℃
適用10 mm~25 mm晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
模塊化設計，可自由組合
*可升級為8個獨立探針
mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學設備
可編程控溫，涵蓋RT~1000℃
適用10 mm~25 mm晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
模塊化設計，可自由組合
溫控參數
溫度范圍 30℃~1000℃
加熱塊材質陶瓷
傳感器/溫控方式
最大升溫速率S/PID控制（含LVDC降噪電源）
50℃/min
最小溫控速度±0.1℃/min
溫度分辨率0.1℃
溫度穩定性±0.5℃
軟件功能 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線
電學參數
探針 默認為錸鎢材質的彎針探針
探針座可從外部XYZ移動的探針臂
點針從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置
探針接口默認為SMA接頭轉BNC
*可增設腔內接線柱（樣品接電引線）
樣品臺面電位 默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口
光學參數
適用光路 反射光路
窗片可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離8/12 mm（可選）*截面圖中WD
上蓋窗片觀察窗片范圍φ45mm，最大視角±58°*截面圖中θ1
負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路
結構參數
適用樣品 25 mm*25mm
樣品腔高4/8 mm（可選）
探針座可從外部XYZ移動的探針臂
粗調模式+微調模式，XY粗調20mm
XY微調行程10mm,Z微調3mm
調節精度10um
氣氛控制真空腔，也可充入保護氣體
外殼冷卻可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm/5kg
配置列表
基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件 安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、防震桌、真空系統、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線
典型應用
表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試
需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的
需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的
需要從外部對臺體內探針進行XYZ移動的
晶圓、半導體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試
測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數和二極管效率
其他可選型號
TP102V-MPS 溫度范圍-40℃~180℃，樣品區,40mm*40mm
HCP421V-MPS溫度范圍-190℃~400℃，樣品區
Φ26mm
HCP402V-MPS溫度范圍-190℃~400℃，樣品區50mm*50mm
HP1000V-MPS溫度范圍35℃~1000℃，樣品區25mm*25mm,真空腔室
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