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自動光學檢測系統AOI 若元件庫建立完整，使用CAD DATA 導入即可完成自動編程。3、還包含了離線編程軟件包（包含離線調試功能）
臺階儀（探針式表面輪廓儀） 根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
聚焦離子束FIB 材料微納結構的樣品制備，包括：SEM在線觀察下制備TEM樣品、材料微觀截面截取與觀察、樣品微觀刻蝕與沉積等。
半導體檢測儀器設備全套-3D光學測量系統VMR可模擬現實環境，規劃智能教導掃描路徑，避免碰撞擊干涉。也可進行離線編成設計路徑，避免占用設備的掃描排程。
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