微光顯微鏡EMMI半導體芯片檢測

概述

Thermo Scientific™ Meridian™ S System，該系統設計用于通過探針卡或微探針對靜態偏壓激勵的器件進行反向光子發射（EMMI）和激光掃描顯微鏡分析。由于系統的總體擁有成本是盈利能力的一個關鍵方面，Meridian S系統提供了一系列光子發射選項、雙面探測靈活性和動態光學故障隔離能力的升級路徑，如激光電壓成像/探測和軟缺陷定位。

Meridian S系統設計用于世界各地的故障分析實驗室，有助于：

•識別系統過程、設計或集成問題

•隔離隨機電氣故障的根本原因,微光顯微鏡EMMI半導體芯片檢測_Meridian S_美國賽默飛

系統級規范：

•倒置光學系統

•組合系統：LSM+PEM標準，具有可選的僅LSM或僅PEM配置

•220VAC，50Hz/60Hz

•標準9“x 9"加載板接口，以及可定制的替代方案

•測試儀直接對接兼容

•級重復性≤2μm

•用于缺陷再檢測的可選激光標記

光子發射顯微術（PEM）

光子發射顯微鏡（PEM）收集由IC器件活動或某些電氣故障產生的少量光。

Thermo Scientific Meridian WaferScan和WS-DP系統提供了一系列紅外探測器系統，能夠分析寬光譜波長和工作電壓下的輻射，以及一套軟件分析工具，包括質心識別、背景減法和多瓦鑲嵌。

光子發射選項：

•TE冷卻320 x 256 InGaAs

•TE冷卻640 x 512 InGaAs

•液氮冷卻640 x 640 InGaAs

•液氮冷卻1k x 1k InGaAs

•液氮冷卻1k x 1k寬帶DBX光子發射規范：

•照明（導航）@1200nm LED

•超低讀取噪聲和暗電流

•大型軟件工具套件，包括熱點覆蓋、實時發射、多文件拼接和芯片間比較

光子發射疊加在器件的光學圖像上

靜態激光刺激（SLS/OBIRCH）

Meridian系統上帶有有源探針技術的故障診斷（FDx）提供了一套技術來隔離有源區的電氣和IDDQ故障，以及設備內的金屬化。有源探頭和有源噪聲消除降噪方案的設計使對廣泛的缺陷類型具有最大的靈敏度。

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