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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環保,化工,建材/家具,電子/電池,電氣 |
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外部尺寸641*533*451mm （1341*533*451mm可選底
座）
真空腔尺寸材質6061-T6 鋁合金241mm*280mm*201mm
電極尺寸200mm *200mm，多控自適應平板電極
等離子體發
生器
頻率：13.56MHz；自動阻抗匹配電源
功率0-200W 連續可調，精度 1W 自適應功率匹配
0-500W連續可調，精度 1W自動阻抗匹配電源
0-750W 連續可調，精度 1W自動阻抗匹配電源
真空計 熱電偶真空計0-100KPa
供氣2 路氣體，精密針閥控制
控制方式4.3 寸觸摸屏，多級應用菜單，操控簡易快捷
選配件飛越VRD 油泵/萊寶/安捷倫DS 系列干泵
電源220V，10A
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